1、X射線熒光光譜儀分光室真空抽不下去
zui可能的原因是活塞O-ring臟，其次是流氣探測器窗口破裂
2、高壓（HT）加不上
檢查X-射線指示燈是否燒斷；檢查內循環水水溫是否在正常范圍內；檢查內循環水電導率是否在正常范圍內 ；檢查內循環水水流量是否在正常范圍內；檢查內循環水水箱水位（必要時添加去離子水）；檢查光學室真空度是否小于100Pa。
在“光譜儀狀態”視窗單擊Start Detector Gas 按鈕如果還沒有流量，調節流量針閥
4、脈沖高度發生漂移
在維護軟件中，調節探測器高壓（用隨機的C3和黃銅樣品）
5、探測器能量分辯率惡化
更換流氣探測氣陽極絲（50um）；更換流氣探測氣窗膜(1um)
6、內部轉盤轉動超時
檢查或更換傳動皮帶；檢查定位傳感器
7、X射線熒光光譜儀活塞上升或下降超時
檢查壓縮空氣壓力是否正常；檢查定位傳感器
8、Cap關閉或打開超時
檢查壓縮空氣壓力是否正常；檢查定位傳感器
9、X射線熒光光譜儀SuperQ軟件故障
重新安裝SuperQ3.0，拷貝進備份的userdata數據庫，問題即可解決。
10、X射線熒光光譜儀恒溫失控
檢查恒溫傳感器；檢查加熱爐絲和電源
11、X射線熒光光譜儀內循環水沒有流量或流量不足
檢查水泵電源；更換水泵；調節流量（此工作必須由專業維修人員來完成）
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